SiC Կերամիկա

SiC կերամիկան ավելի ու ավելի շատ է օգտագործվում կիսահաղորդչային սարքավորումներում, հիմնականում այն ​​պատճառով, որ այն ավելի լավ է դիմանում ավելի դժվար պայմաններում: Երբ ջերմաստիճանը բարձրանում է կամ գործընթացն ավելի ագրեսիվ է դառնում, քվարցի կամ սիլիցիումի նման նյութերը կարող են սկսել սահմանափակումներ ցույց տալ, և սովորաբար այստեղ է, որ SiC-ն է մտնում խաղի մեջ: Վառարանային գործընթացներում, ինչպիսիք են օքսիդացումը կամ դիֆուզիան, SiC-ից պատրաստված վաֆլի նավակները կամ թիակները, որպես կանոն, ավելի երկար են ծառայում: Դրանք պահպանում են իրենց ձևը և շատ աղտոտվածություն չեն առաջացնում, նույնիսկ երկարատև օգտագործումից հետո: Մարդիկ հաճախ անցնում են քվարցից այս պատճառով, հատկապես, երբ սպասարկումը չափազանց հաճախակի է դառնում:

Փորագրման համար SiC-ն հաճախ ընտրվում է պարզապես այն պատճառով, որ այն ավելի երկար է դիմանում պլազմային: Սիլիկոնային մասերի համեմատ կյանքի տևողության տարբերությունը նկատելի է շատ կարգավորումներում, չնայած այն դեռևս կախված է ճշգրիտ գործընթացից: Այն նաև մի փոքր օգնում է մասնիկների կառավարման հարցում, որն ավելի զգայուն է դառնում հանգույցների կծկվելուն զուգընթաց: Դուք նաև կտեսնեք SiC-ն որպես ընկալիչներ MOCVD կամ CVD-ում: Այդ դեպքերում խոսքը պակաս «ամրության» մասին է, այլ ավելի շատ ջերմաստիճանի կայունության պահպանման մասին: Դրանից բացի, այն հայտնվում է խցիկի մասերում, ինչպիսիք են ծածկոցները կամ ցնցուղի գլխիկները, և երբեմն նաև բեռնման բաղադրիչներում: